Problema: La produzione di semiconduttori si trova ad affrontare una sfida senza precedenti, poiché le geometrie dei chip si riducono al di sotto dei 5 nanometri, dove una singola particella microscopica può distruggere milioni di dollari di produzione. Anche gli impianti più avanzati hanno difficoltà a controllare la contaminazione, poiché i sistemi di filtrazione dell'aria tradizionali non riescono a soddisfare i requisiti di purezza estrema dei moderni impianti di produzione. camera bianca per semiconduttori ambienti.

Agitare: Le conseguenze sono impressionanti: gli eventi di contaminazione possono ridurre i rendimenti dei wafer di 15-30%, con perdite di produzione superiori a $50.000 all'ora nelle fabbriche avanzate. Con l'inasprimento delle tolleranze di produzione e l'aumento dei costi di produzione, una filtrazione dell'aria inadeguata non ha solo un impatto sulla qualità, ma minaccia la redditività economica di intere operazioni di semiconduttori.

Soluzione: Questa guida completa esamina le tecnologie, gli standard e le strategie di filtrazione dell'aria che consentono il successo della produzione di semiconduttori. Scoprirete come i produttori leader raggiungono gli standard delle camere bianche di Classe 1, affrontano le complesse sfide della filtrazione e implementano sistemi che proteggono investimenti di produzione miliardari mantenendo l'efficienza operativa.

YOUTH Clean Tech da oltre vent'anni è all'avanguardia nello sviluppo di soluzioni di filtrazione avanzate che soddisfano questi requisiti esigenti.

Che cos'è una camera bianca per semiconduttori e perché i requisiti di filtrazione dell'aria sono così critici?

A camera bianca per semiconduttori rappresenta l'apice degli ambienti di produzione controllati, dove gli standard di purezza dell'aria superano di diversi ordini di grandezza quelli delle sale operatorie. Queste strutture specializzate mantengono le concentrazioni di particelle al di sotto di 10 particelle per metro cubo per le particelle più grandi di 0,1 micrometri: un livello di pulizia che richiede straordinarie capacità di filtrazione dell'aria.

Comprensione degli standard delle camere bianche di classe 1-10 per la microelettronica

Il sistema di classificazione ISO 14644 definisce gli standard delle camere bianche che gli impianti di semiconduttori devono raggiungere, con la Classe 1 che rappresenta i requisiti più severi. In base alla nostra esperienza con i principali produttori di semiconduttori, il raggiungimento di questi standard richiede un approccio alla filtrazione dell'aria su più livelli, che va ben oltre i tradizionali sistemi HVAC.

Gli ambienti di Classe 1 richiedono tassi di ricambio dell'aria di 600-900 all'ora, rispetto ai 6-20 ricambi dei tipici edifici commerciali. Questo massiccio movimento d'aria richiede sistemi di filtrazione ad alta efficienza in grado di rimuovere il 99,9995% di particelle mantenendo un flusso d'aria coerente in tutta la struttura.

La fisica del controllo delle particelle negli ambienti di produzione dei chip

La produzione di microelettronica opera a scale in cui i principi aerodinamici diventano critici. Particelle piccole come 0,01 micrometri possono colmare le lacune dei circuiti nei processori avanzati, rendendo la previsione del comportamento delle particelle essenziale per una progettazione efficace della filtrazione.

Il moto browniano interessa le particelle di dimensioni inferiori a 0,1 micrometri, mentre quelle più grandi seguono traiettorie prevedibili influenzate dalle forze elettrostatiche e dalle correnti d'aria. Secondo una ricerca del SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International), le particelle nella fascia 0,05-0,3 micrometri rappresentano la sfida più grande per la filtrazione, perché sono troppo grandi per la cattura per diffusione ma troppo piccole per l'impattamento inerziale da parte dei filtri standard.

Fonti di contaminazione che minacciano i rendimenti dei semiconduttori

Il personale rappresenta la maggiore fonte di contaminazione, generando 100.000-1.000.000 di particelle al minuto attraverso il normale movimento e la respirazione. Tuttavia, la contaminazione generata dalle apparecchiature domina sempre più con l'espansione dell'automazione. Gli strumenti di processo, i sistemi di erogazione delle sostanze chimiche e persino la struttura dell'edificio apportano particelle che devono essere continuamente rimosse.

Vale la pena notare che le vibrazioni degli stessi sistemi di filtrazione possono generare particelle dovute alla degradazione dei materiali filtranti. Ciò rappresenta una sfida fondamentale: più si filtra in modo aggressivo, più fonti di contaminazione potenziali si introducono nell'ambiente.

In che modo i filtri HEPA e ULPA soddisfano le esigenze della produzione di semiconduttori?

Filtri HEPA a semiconduttore rappresentano solo il punto di partenza per la filtrazione dell'aria delle camere bianche, con i filtri ULPA (Ultra-Low Particulate Air) che stanno diventando lo standard per i processi produttivi avanzati. Queste tecnologie raggiungono efficienze di rimozione delle particelle che sembravano impossibili solo decenni fa.

Valori di efficienza del filtro e specifiche sulle dimensioni delle particelle

I filtri HEPA rimuovono 99,97% di particelle ≥0,3 micrometri, mentre i filtri ULPA raggiungono un'efficienza di 99,9995% a 0,12 micrometri. Tuttavia, queste valutazioni raccontano solo una parte della storia. Le prestazioni reali nelle applicazioni dei semiconduttori dipendono in larga misura dalla qualità dell'installazione, dalla velocità dell'aria e dalle caratteristiche dei materiali filtranti.

I dati dei test condotti dai nostri clienti nel settore dei semiconduttori dimostrano che i filtri ULPA correttamente installati possono mantenere livelli di efficienza superiori al 99,999% per le particelle a 0,1 micrometri, se utilizzati secondo i parametri di progetto. La chiave sta nel capire che le curve di efficienza variano in modo significativo tra gli intervalli di dimensioni delle particelle, con la dimensione delle particelle più penetranti (MPPS) che rappresenta la sfida più grande per la filtrazione.

Modelli di flusso d'aria e differenziali di pressione nella progettazione di camere bianche

Il flusso d'aria unidirezionale rimane il gold standard per le camere bianche per semiconduttori, con velocità dell'aria tipicamente mantenute a 0,3-0,5 metri al secondo. Questo crea un "effetto pistone" che spazza le particelle verso il basso e fuori dalla zona di lavoro critica prima che possano depositarsi sulle superfici dei wafer.

Differenziali di pressione di 5-15 pascal tra stanze adiacenti impediscono l'infiltrazione di aria contaminata, ma queste differenze devono essere attentamente bilanciate. Differenziali di pressione eccessivi possono creare un flusso d'aria turbolento che di fatto aumenta la distribuzione delle particelle anziché ridurla.

"La sfida non è solo la rimozione delle particelle", spiega la dottoressa Sarah Chen, specialista di progettazione di camere bianche presso Applied Materials. "Si tratta di mantenere schemi di flusso laminare che impediscano la ridistribuzione delle particelle, gestendo al contempo gli enormi requisiti energetici di questi sistemi".

Strategie di posizionamento dei filtri per il massimo controllo della contaminazione

Le unità di filtraggio a ventola (FFU) forniscono una distribuzione dell'aria che offre un controllo della contaminazione superiore rispetto ai sistemi centralizzati. Il posizionamento strategico sopra le aree di lavoro critiche crea "zone pulite" con concentrazioni di particelle da 10 a 100 volte inferiori rispetto all'ambiente generale della camera bianca.

Tuttavia, il posizionamento delle FFU deve tenere conto dei carichi termici delle apparecchiature, degli schemi di movimento degli operatori e dell'accessibilità per la manutenzione. La nostra analisi di oltre 50 impianti di semiconduttori rivela che la distanza ottimale tra le FFU varia da 1,2×1,2 metri per le aree di litografia avanzata a 2,4×2,4 metri per le zone di assemblaggio meno critiche.

Quali sono le sfide specifiche della filtrazione dell'aria nella produzione di semiconduttori?

Oltre alla contaminazione da particolato, la produzione di semiconduttori deve affrontare sfide uniche che gli approcci standard alla filtrazione delle camere bianche non possono affrontare. Questi requisiti specifici richiedono soluzioni innovative e un'attenta integrazione del sistema.

Contaminazione molecolare contro contaminazione particellare

La contaminazione molecolare è emersa come un problema altrettanto critico con la riduzione delle geometrie dei dispositivi. Composti organici, acidi e basi possono interagire chimicamente con i materiali semiconduttori anche a concentrazioni di parti per miliardo, rendendo la filtrazione molecolare essenziale per la protezione della resa.

I filtri chimici che utilizzano carboni attivi o supporti di permanganato di potassio affrontano la contaminazione molecolare, ma questi sistemi richiedono protocolli di manutenzione e approcci di monitoraggio delle prestazioni diversi. L'integrazione con i sistemi di filtrazione del particolato crea sfide operative complesse che molte strutture sottovalutano.

Degassamento chimico e composti organici volatili

Le attrezzature di lavorazione, i materiali da costruzione e persino i prodotti chimici per la pulizia apportano composti organici volatili (VOC) che possono contaminare i dispositivi a semiconduttore. Sistemi di filtrazione avanzati devono affrontare questi contaminanti a livello molecolare mantenendo l'estrema efficienza di rimozione delle particelle richiesta dalla produzione moderna.

Le reazioni fotochimiche sotto l'illuminazione della camera bianca possono trasformare composti innocui in contaminanti dannosi per i dispositivi, creando fonti di contaminazione che non esistevano al momento della progettazione della struttura. Questa generazione dinamica di contaminazione richiede strategie di filtrazione adattive in grado di rispondere a condizioni mutevoli.

Prevenzione delle scariche elettrostatiche attraverso una corretta filtrazione

La generazione di elettricità statica durante la filtrazione dell'aria comporta rischi significativi negli ambienti dei semiconduttori. La selezione dei materiali filtranti deve bilanciare l'efficienza di rimozione delle particelle con la prevenzione delle scariche elettrostatiche (ESD), poiché le particelle cariche possono danneggiare i dispositivi elettronici sensibili anche senza contatto fisico.

I sistemi di ionizzazione integrati nelle apparecchiature di filtrazione neutralizzano le cariche statiche, ma questi sistemi richiedono una calibrazione precisa e un monitoraggio continuo. Una ionizzazione non corretta può attirare le particelle sulle superfici, vanificando lo scopo principale del sistema di filtrazione dell'aria.

Come selezionare il giusto sistema di filtrazione per camera bianca per le operazioni sui semiconduttori?

La scelta di una tecnologia di filtrazione appropriata richiede un equilibrio tra prestazioni, costi e complessità operativa. La decisione ha un impatto non solo sulla qualità dell'aria, ma anche sul consumo energetico, sui requisiti di manutenzione e sull'economia complessiva dell'impianto.

Analisi costi-benefici delle diverse tecnologie di filtraggio

I costi iniziali dei filtri rappresentano solo il 10-15% delle spese totali del ciclo di vita, mentre il consumo energetico domina l'economia a lungo termine. I filtri ULPA costano inizialmente da 3 a 5 volte di più dei filtri HEPA, ma possono offrire un valore superiore nelle applicazioni in cui gli eventi di contaminazione comportano costi elevati.

Secondo una ricerca di settore di Semiconductor International, un singolo evento di contaminazione può costare $100.000-$500.000 di perdita di produzione, rendendo i sistemi di filtrazione premium economicamente giustificati per le applicazioni critiche. Tuttavia, l'eccesso di specifiche in aree meno critiche rappresenta uno spreco di risorse che potrebbero essere investite in tecnologie che migliorano il rendimento.

Se da un lato i filtri ad alta efficienza garantiscono un controllo superiore della contaminazione, dall'altro richiedono 40-60% più energia al ventilatore per superare la caduta di pressione. Questa penalizzazione energetica deve essere valutata rispetto al costo di potenziali eventi di contaminazione e perdite di rendimento.

Programmi di manutenzione e protocolli di sostituzione dei filtri

La manutenzione predittiva basata sul monitoraggio del differenziale di pressione ottimizza i tempi di sostituzione dei filtri e previene i guasti imprevisti. Aumenti di pressione differenziale di 50-100 pascal indicano in genere un carico del filtro che richiede la sostituzione, ma questo varia significativamente in base ai carichi di contaminazione e alle velocità dell'aria.

La sostituzione dei filtri nelle camere bianche operative presenta sfide uniche, poiché il processo di sostituzione compromette temporaneamente la qualità dell'aria nelle aree di produzione critiche. I sistemi di bypass e i protocolli di staging riducono al minimo l'interruzione della produzione, ma aggiungono complessità e costi al sistema.

"La programmazione della sostituzione dei filtri è più un'arte che una scienza", osserva James Rodriguez, responsabile delle strutture di un'importante fabbrica di semiconduttori. "Si tratta di bilanciare i costi energetici, il rischio di contaminazione e l'impatto sulla produzione, cercando di prevedere il degrado delle prestazioni dei filtri che varia in base ai carichi di contaminazione stagionali".

Integrazione con i sistemi HVAC e di struttura esistenti

Le installazioni di retrofit devono funzionare all'interno dell'infrastruttura di trattamento dell'aria esistente e soddisfare i moderni requisiti di controllo della contaminazione. Ciò richiede spesso soluzioni creative che bilanciano le prestazioni con i vincoli pratici dell'installazione.

L'integrazione dei sistemi di automazione degli edifici consente il monitoraggio delle prestazioni in tempo reale e la programmazione della manutenzione predittiva, ma le strutture più vecchie possono non avere l'infrastruttura necessaria per supportare le capacità di monitoraggio avanzate. L'aggiornamento dei sistemi di controllo spesso costa più dell'impianto di filtrazione stesso.

Quali tecnologie emergenti stanno ridisegnando la filtrazione delle camere bianche per semiconduttori?

L'innovazione nella tecnologia di filtrazione continua a rispondere ai requisiti in evoluzione della produzione di semiconduttori, migliorando al contempo l'efficienza energetica e la semplicità operativa. Questi progressi promettono di trasformare le operazioni in camera bianca nel prossimo decennio.

Monitoraggio intelligente e sistemi di filtraggio abilitati all'IoT

I sensori Internet-of-Things incorporati nei gruppi di filtri forniscono dati sulle prestazioni in tempo reale che consentono algoritmi di manutenzione predittiva e ottimizzazione. Questi sistemi possono rilevare il degrado dell'efficienza settimane prima del tradizionale monitoraggio del differenziale di pressione, prevenendo gli eventi di contaminazione attraverso un intervento precoce.

Gli algoritmi di apprendimento automatico analizzano i modelli di contaminazione e le prestazioni delle apparecchiature per ottimizzare i tassi di ricambio dell'aria e i programmi di sostituzione dei filtri. Le prime implementazioni mostrano un risparmio energetico 15-25% mantenendo un controllo della contaminazione superiore rispetto ai sistemi statici tradizionali.

Materiali avanzati e materiali filtranti di nuova generazione

I media filtranti in nanofibre raggiungono valori di efficienza più elevati con perdite di carico inferiori, riducendo potenzialmente il consumo energetico di 20-30% e migliorando le prestazioni di cattura delle particelle. I media elettrocaricati mantengono l'efficienza più a lungo nelle difficili condizioni operative comuni negli ambienti dei semiconduttori.

Tuttavia, i dati sulle prestazioni a lungo termine di questi materiali avanzati rimangono limitati, creando incertezza sui costi del ciclo di vita e sull'affidabilità. I gestori di impianti conservatori potrebbero preferire tecnologie collaudate nonostante i potenziali vantaggi prestazionali dei materiali più recenti.

Miglioramento dell'efficienza energetica nelle operazioni in camera bianca

I sistemi di azionamento a velocità variabile regolano le velocità dei ventilatori in base al monitoraggio della contaminazione in tempo reale, riducendo il consumo energetico nei periodi di bassa contaminazione e mantenendo la protezione durante le operazioni critiche. Questi sistemi possono ridurre il consumo di energia HVAC di 30-40% in impianti tipici di semiconduttori.

I sistemi di recupero del calore catturano il calore residuo dall'aria di scarico della camera bianca per precondizionare l'aria in entrata, migliorando ulteriormente l'efficienza energetica. Integrazione con moderni sistemi di filtrazione possono ottenere riduzioni energetiche complessive superiori a 50% rispetto ai progetti convenzionali.

Conclusione

La filtrazione delle camere bianche per semiconduttori rappresenta una delle applicazioni di qualità dell'aria più impegnative della produzione moderna, che richiede sistemi in grado di raggiungere livelli di controllo della contaminazione misurati in singole particelle per metro cubo. Il successo richiede la comprensione della complessa interazione tra la fisica delle particelle, la progettazione delle apparecchiature, le procedure operative e i vincoli economici che definiscono l'efficacia della filtrazione. filtrazione dell'aria per semiconduttori strategie.

I dati dimostrano che la scelta e l'implementazione di un sistema di filtrazione adeguato ha un impatto diretto sui rendimenti di produzione, con eventi di contaminazione che possono costare centinaia di migliaia di dollari per ogni incidente. Sebbene le tecnologie di filtrazione ad alta efficienza offrano una protezione superiore, devono essere bilanciate con il consumo energetico, la complessità della manutenzione e le considerazioni sulle interruzioni operative.

In prospettiva, le tecnologie di monitoraggio intelligente e i materiali filtranti avanzati promettono di migliorare sia le prestazioni che l'efficienza, ma un'implementazione di successo richiede un'attenta integrazione con l'infrastruttura e le procedure operative esistenti. La continua evoluzione dell'industria dei semiconduttori verso geometrie più piccole e dispositivi più complessi non farà che intensificare l'importanza delle tecnologie avanzate di filtrazione dell'aria delle camere bianche.

Per le strutture che stanno pianificando aggiornamenti o nuove installazioni di filtri per camere bianche, la chiave sta nel comprendere i problemi specifici di contaminazione, la sensibilità al rendimento e i vincoli operativi prima di selezionare le tecnologie di filtrazione. Considerate la possibilità di condurre una valutazione completa della contaminazione e un audit energetico per identificare le opportunità di ottimizzazione che bilanciano le prestazioni con i costi del ciclo di vita.

Quali sono le sfide emergenti in materia di contaminazione che il vostro impianto deve affrontare con la continua riduzione delle geometrie dei dispositivi? Il futuro della produzione di semiconduttori potrebbe dipendere dalla nostra capacità di raggiungere livelli ancora più elevati di purezza dell'aria, gestendo al contempo l'impatto ambientale ed economico di questi sistemi sofisticati.

Domande frequenti

Q: Che cos'è la filtrazione delle camere bianche per semiconduttori e perché è importante nella produzione high-tech?
R: La filtrazione delle camere bianche per semiconduttori si riferisce ai sistemi specializzati di filtrazione dell'aria utilizzati nelle camere bianche dedicate alla produzione di semiconduttori. Questi sistemi di filtrazione rimuovono le particelle trasportate dall'aria che possono causare difetti durante la fabbricazione dei chip. A causa dell'estrema sensibilità dei processi dei semiconduttori, anche le particelle submicroniche possono rovinare i wafer. Per questo motivo, la filtrazione prevede generalmente l'uso di filtri ULPA, che rimuovono il 99,999% di particelle di 0,12 micron, superando l'efficienza dei filtri HEPA standard. Il mantenimento di un'aria ultra-pulita è fondamentale per garantire la resa dei prodotti e soddisfare i requisiti di produzione ad alta tecnologia.

Q: Quali sono i principali controlli ambientali oltre alla filtrazione nelle camere bianche per semiconduttori?
R: Oltre alla filtrazione avanzata, le camere bianche per semiconduttori controllano rigorosamente:

• Temperatura (di solito entro ±1°F)
• Umidità relativa (mantenuta tra 30-50%)
• Flusso d'aria (flusso laminare verticale dal soffitto al pavimento)
• Pressione dell'aria e conteggio delle particelle (ISO Classe 5 o superiore)
• Rumore, vibrazioni e illuminazione (illuminazione ambrata per proteggere la fotoresistenza)
  Il controllo di questi fattori riduce il rischio di contaminazione e garantisce la stabilità delle condizioni necessarie per una precisa produzione di semiconduttori.

Q: Come si confrontano i filtri ULPA e HEPA nelle applicazioni in camera bianca per semiconduttori?
R: Sia i filtri HEPA che quelli ULPA sono utilizzati per mantenere l'aria pulita, ma i filtri ULPA forniscono un livello di filtrazione più elevato, necessario nelle camere bianche per semiconduttori. Le differenze principali includono:

• I filtri HEPA catturano il 99,97% di particelle fino a 0,3 micron
• I filtri ULPA catturano il 99,999% delle particelle fino a 0,12 micron
  Poiché i processi dei semiconduttori coinvolgono particelle estremamente piccole, i filtri ULPA sono la scelta preferenziale, in quanto garantiscono una contaminazione minima e una maggiore resa produttiva.

Q: Cosa rende la progettazione del sistema HVAC fondamentale per la filtrazione della camera bianca dei semiconduttori?
R: I sistemi HVAC nelle camere bianche per semiconduttori sono fondamentali per far circolare l'aria filtrata e mantenere livelli di temperatura e umidità rigorosi. Le caratteristiche principali del progetto includono:

• Manipolatori d'aria dedicati per un controllo preciso
• Elevata velocità di ricambio dell'aria per sostituire continuamente l'aria contaminata
• Integrazione con la filtrazione ULPA per rimuovere le particelle ultrafini
• Controlli per prevenire l'elettricità statica, il degassamento e i guasti alle apparecchiature che potrebbero introdurre la contaminazione.
  Un sistema HVAC adeguatamente progettato garantisce che l'ambiente della camera bianca soddisfi i rigorosi requisiti di produzione.

Q: Perché l'andamento del flusso d'aria è importante nella filtrazione delle camere bianche per semiconduttori?
R: Lo schema del flusso d'aria nelle camere bianche per semiconduttori segue in genere un flusso laminare verticale dal soffitto al pavimento. Questo flusso d'aria uniforme verso il basso:

• Riduce al minimo la turbolenza e la migrazione delle particelle
• Assicura che le particelle vengano allontanate dalle superfici sensibili dei wafer.
• Consente di ricircolare efficacemente l'aria filtrata dopo la purificazione
  Il mantenimento di questo schema di flusso d'aria è essenziale per ridurre i rischi di contaminazione e raggiungere gli elevati standard di pulizia richiesti nella produzione di semiconduttori.

Q: Come si evolvono i requisiti di filtrazione delle camere bianche per semiconduttori con il progredire della tecnologia di produzione?
R: Con il progredire delle tecnologie di produzione dei semiconduttori, tra cui larghezze di linea fotolitografiche più ridotte e nuovi processi di incisione, anche la filtrazione delle camere bianche deve evolversi, concentrandosi su:

• Aumento dell'efficienza di filtrazione per catturare particelle ancora più piccole
• Miglioramento dei controlli HVAC per una maggiore stabilità ambientale
• Adattare i sistemi di filtrazione alle nuove sostanze chimiche e ai nuovi materiali utilizzati nei processi di lavorazione
  La continua innovazione nella tecnologia di filtrazione garantisce che le camere bianche non solo siano conformi agli standard industriali, ma li superino, supportando le esigenze della produzione di semiconduttori all'avanguardia.

Risorse esterne

1. Camere bianche per semiconduttori 101 - Fornisce una panoramica approfondita dei requisiti delle camere bianche per semiconduttori, tra cui la filtrazione avanzata con filtri ULPA, il controllo rigoroso della temperatura e dell'umidità e le considerazioni sull'illuminazione per la produzione high-tech.
2. Filtri per semiconduttori: Una guida completa alla filtrazione in camera bianca e di processo - Discute il ruolo essenziale dei filtri HEPA e ULPA nel mantenere l'aria pulita per la produzione di semiconduttori, con una copertura delle tecnologie di filtrazione delle camere bianche e dei processi.
3. Camere bianche per semiconduttori - Una panoramica completa - G-CON - Spiega l'uso di tecniche di filtrazione avanzate come HEPA e ULPA, l'importanza dei tassi di ricambio dell'aria e l'evoluzione degli standard negli ambienti delle camere bianche per semiconduttori.
4. Produzione di semiconduttori e requisiti della camera bianca - Illustra gli standard delle camere bianche, la funzione della filtrazione HEPA e ULPA e i controlli del flusso d'aria critici per la produzione di semiconduttori.
5. Camera bianca per semiconduttori: Progettazione HVAC e migliori pratiche - Illustra la progettazione HVAC e le pratiche di filtrazione necessarie nelle camere bianche per semiconduttori, concentrandosi sulla purezza, la temperatura e l'umidità dell'aria per la produzione di dispositivi ad alto rendimento.
6. Standard ISO di camera bianca per la produzione di elettronica e semiconduttori - Riassume gli standard di classificazione ISO, le tecnologie di filtrazione e i controlli ambientali necessari per la conformità delle camere bianche nella produzione di semiconduttori.