클린룸 운영에서 직원 오염 제거는 여전히 지속적인 과제로 남아 있습니다. 기존의 방법으로는 장벽을 손상시키거나 2차 오염을 일으키지 않으면서 보호복에서 가장 미세하고 부착성이 강한 입자를 제거하는 데 실패하는 경우가 많습니다. 이로 인해 시설은 교차 오염에 취약해져 제품 무결성 및 규제 준수 상태를 손상시킬 수 있습니다. 핵심 문제는 작업자의 편안함과 워크플로 효율성을 유지하면서 철저한 오염 제거를 달성하는 것입니다.

보다 강력한 활성 의약품 성분과 첨단 생물학적 제제로의 전환은 이러한 과제를 더욱 심화시켰습니다. 오염 제어에 대한 규제 조사가 강화되면서 검증되고 반복 가능한 오염 제거 프로세스가 중요한 투자가 되고 있습니다. 시설 관리자와 엔지니어에게 최신 미스트 샤워 기술의 작동 원리를 이해하는 것은 더 이상 선택 사항이 아니며, 제품과 인력을 모두 보호하는 오염 제어 전략을 설계하는 데 필수적입니다.

초음파 안개가 5-10미크론 미스트를 생성하는 방법

초음파 분무의 원리

효과적인 개인 오염 제거의 기본은 초미세 물 안개를 정밀하게 생성하는 것입니다. 압력 기반 스프레이 시스템과 달리 미스트 샤워는 초음파 분무 방식을 활용합니다. 고주파 음파는 물 저장소 표면에 고요한 모세관 파를 생성합니다. 파동 진폭이 임계점에 도달하면 미세한 물방울이 파문에서 분출됩니다. 이 물리적 프로세스는 본질적으로 낮은 미크론 범위의 물방울을 생성할 수 있습니다. 그러나 일관된 5~10미크론 출력을 달성하려면 주파수, 트랜스듀서 전력 및 유체 역학에 대한 정밀한 엔지니어링이 필요합니다. 업계 전문가들은 이러한 파라미터의 보정을 통해 산업용 오염 제거 시스템을 검증된 공정에 필요한 엄격한 제어가 부족한 소비자용 가습기와 구분할 수 있다고 지적합니다.

일관된 액적 크기를 위한 엔지니어링

목표 액적 크기는 부산물이 아니라 의도적인 설계 사양입니다. 이 시스템은 5~10미크론 범위를 중심으로 엄격하게 제어된 액적 크기 분포를 생성하도록 설계되었습니다. 여기에는 트랜스듀서뿐만 아니라 제어된 물 공급 시스템, 안정적인 저장소 조건, 미스트 구름을 관리하기 위한 공기 유입 제어 등이 포함됩니다. 일반적으로 모든 초음파 안개가 동일하다고 가정하는 경우가 많습니다. 산업용 미스트 샤워 출력을 표준 가습기 안개와 비교한 결과, 후자가 훨씬 더 광범위하고 예측할 수 없는 크기 범위를 생성하며 습윤을 유발하는 더 큰 물방울을 생성하는 것으로 나타났습니다. 산업용 출력의 일관성은 예측 가능한 오염 제거 물리학 및 신뢰할 수 있는 검증을 가능하게 합니다.

방울 크기 사양의 중요한 역할

이 정밀도는 시스템 선택의 주요 기술 벤치마크입니다. 오염 제거 효율은 물방울 크기의 직접적인 함수입니다. 10마이크론보다 훨씬 큰 물방울은 의류를 적셔 오염 물질이 의류를 통과하거나 유출 문제를 일으킬 수 있습니다. 5마이크론보다 훨씬 작은 비말은 오염 입자를 효과적으로 캡슐화하여 무게를 줄이기에 충분한 질량을 갖지 못해 효율성이 떨어질 수 있습니다. 따라서 이 특정 비말 스펙트럼을 생성하고 유지하는 시스템의 입증된 능력을 검증하는 것이 평가의 첫 번째이자 가장 중요한 단계입니다. 이는 다른 모든 기능이 구축되는 타협할 수 없는 토대입니다.

5~10미크론 비말 오염 제거의 과학적 근거

파티클 캡슐화의 물리학

5~10미크론 범위는 효과적인 입자 상호 작용과 최소한의 액체 전달이라는 두 가지 상충되는 물리적 요구 사항 간의 최적의 균형을 나타냅니다. 이 범위의 물방울은 짙은 안개처럼 공기 중에 떠다니며 작업자를 둘러싸고 의류 직물의 미세한 질감을 관통할 수 있을 만큼 충분히 작습니다. 오염 입자를 캡슐화할 수 있을 만큼 충분히 커서 충분한 질량을 추가합니다. 이렇게 추가된 질량은 분말의 공기 중 전위를 중화시켜 중력에 의해 무거워진 물로 코팅된 입자가 의복에서 떨어지게 합니다. 이 공정은 고압 충돌이 아닌 물리적 캡슐화와 질량 추가에 의존합니다.

건식 오염 제거 달성

이 메커니즘의 주요 장점은 5~10미크론의 물방울이 모여 상당한 양의 액체 유출로 합쳐지지 않는다는 것입니다. 작업자는 짙은 안개를 경험하지만 본질적으로 건조한 상태로 나타납니다. 이러한 “건조한” 오염 제거는 작업자의 수용과 재사용 가능한 클린룸 의복의 무결성을 보호하는 데 매우 중요합니다. 의복이 젖으면 오염 물질의 통로가 되거나 오랜 건조 과정이 필요하여 작업 흐름에 지장을 줄 수 있습니다. 이 정밀한 크기 범위는 입자 제거를 극대화하는 동시에 습기와 관련된 합병증을 최소화하며, 이는 실제 일상적인 사용에 매우 중요한 균형임을 과학적으로 확인했습니다.

효능 정량화

오염 제거 결과는 측정 가능하고 유의미합니다. 캡슐화 및 낙진 메커니즘은 의복의 표면 입자 오염을 수백 배까지 줄일 수 있습니다. 이러한 수준의 효능은 미스트 샤워를 단순한 위생 단계에서 오염 제어 전략 내에서 중요한 엔지니어링 제어로 전환합니다. 이는 사람을 통한 입자 유입으로부터 핵심 클린룸 환경을 직접적으로 보호합니다. 이러한 입자 수 감소를 검증하는 것은 다음과 같은 표준에 정의된 클린룸 분류 목표에 따라 시스템 작동을 조정하는 성능 검증의 핵심입니다. ISO 14644-1:2015.

출처: 기술 문서 및 업계 사양.

현대식 미스트 샤워 시스템의 주요 구성 요소

구조적 인클로저

시스템 섀시는 내식성과 세척성을 위해 일반적으로 304 또는 316 스테인리스 스틸과 같은 클린룸 호환 재료로 제작된 챔버입니다. 도어는 내구성과 가시성을 제공하는 강화 유리 또는 페놀 수지로 제작되는 경우가 많습니다. 인클로저는 시설 레이아웃과 통합되는 동시에 미스트 클라우드를 차단할 수 있도록 밀폐되어야 합니다. 인클로저는 다양한 공간 및 공정 제약 조건에 맞게 직선형 터널 또는 직각 구성과 같은 옵션으로 설계되어 인력 흐름에 직접적인 영향을 미칩니다. 인클로저는 단순한 상자가 아니라 운영 공간과 워크플로 통합 지점을 정의합니다.

안개 세대 심장

핵심은 초음파 포그 생성 모듈입니다. 여기에는 트랜스듀서 어레이, 물 저장소 및 공급 시스템이 포함됩니다. 이 모듈의 유일한 목적은 오염 제거 주기 동안 지정된 5~10미크론 미스트를 일관되게 생성하는 것입니다. 중요한 작업 중 고장을 방지하기 위해 산업 등급 장치에 중복성과 신뢰성이 내장되어 있습니다. 제 경험상 이 모듈의 일상적인 검사에 대한 접근성은 조달 과정에서 종종 저평가되는 설계 기능이지만 장기 가동 시간에는 가장 중요한 요소입니다.

제어 및 디자인 철학

PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러)를 포함하면 장치가 자동화된 데이터 기반 제어 지점으로 변모합니다. 하드웨어를 넘어 중요한 설계 철학은 모듈성을 점점 더 강조하고 있습니다. 플러그에 연결된 표준 구성 요소를 사용하면 신속한 교체가 가능하므로 고부가가치 환경에서 운영 중단이라는 중대한 위험에 직접적으로 대응할 수 있습니다. 이러한 모듈식 전략은 서비스 가능성을 시스템 자체의 핵심 구성 요소로 만들어 초기 구매 가격보다 총소유비용에 더 큰 영향을 미칩니다.

출처: ISO 14644-14:2016. 이 표준은 인클로저 및 안개 발생기와 같은 미스트 샤워 구성 요소의 입자 방출 및 재료 호환성 평가와 직접적으로 관련된 클린룸용 장비 적합성을 평가하기 위한 프레임워크를 제공합니다.

PLC를 통한 운영 제어 및 주기 관리

자동화된 주기 실행

작동은 시간 설정 안개 레시피를 저장하고 실행하는 PLC에 의해 제어됩니다. 사용자가 터치스크린 인터페이스를 통해 사전 검증된 사이클을 선택하면 PLC가 도어 잠금, 설정된 기간 동안 미스트 생성, 체류 시간, 배기 등의 순서를 자동화합니다. 이를 통해 작업자의 가변성을 제거하여 각 오염 제거 이벤트가 검증된 프로세스와 동일하게 진행되도록 보장합니다. 또한 PLC는 수위 및 기압과 같은 중요한 매개 변수를 모니터링하여 조건이 사양에서 벗어날 경우 사이클을 중단하여 시스템을 보호하고 일관된 출력을 보장합니다.

규정 준수를 위한 데이터 로깅

PLC의 역할은 자동화를 넘어 문서화까지 확장됩니다. PLC는 각 사이클을 기록하고 매개변수와 결함을 기록합니다. 이를 통해 규정 준수에 필수적인 감사 추적을 생성하여 직원이 통제 구역에 들어가기 전에 올바른 오염 제거 절차를 거쳤음을 증명합니다. 이 데이터 로깅 기능은 다음과 같은 표준 요건을 충족하는 데 필수적입니다. ANSI/AAMI ST98:2022, 를 통해 문서화되고 통제된 청소 프로세스를 강조합니다.

고급 분석을 향한 궤적

PLC 인프라는 고급 공정 분석을 위한 기반을 조성합니다. 향후 시스템은 주기적인 검증을 넘어 실시간 유효성 검증을 위해 인라인 파티클 카운터 또는 기타 센서를 통합할 준비가 되어 있습니다. 따라서 PLC는 단순한 타이머가 아니라 시설 전반의 품질 관리 시스템에 데이터를 제공하는 스마트 시스템의 핵심으로 자리매김할 것입니다. 따라서 유지보수 담당자는 기계 부품뿐만 아니라 기본적인 제어 시스템 진단에 대한 교육도 받아야 합니다.

출처: ANSI/AAMI ST98:2022. 이 세척 검증 표준에는 문서화되고 통제된 프로세스가 필요하므로 시간 제한 레시피를 실행하고 검증된 오염 제거 주기를 증명하는 데 필수적인 데이터 추적을 제공하는 PLC의 역할이 중요합니다.

미스트 샤워 성능 및 규정 준수 검증

성능 자격(PQ)

검증은 시스템이 실제 설치된 환경에서 지정된 매개변수 내에서 작동하는지 확인합니다. 성능 검증에는 일반적으로 테스트 의류에 알려진 미립자 문제를 설정하고 표준 미스트 샤워 사이클을 실행한 후 미립자 수 감소를 측정하는 과정이 포함됩니다. 측정 가능한 주요 결과는 표면 오염 800배 감소와 같이 시스템이 주장된 효능을 충족한다는 것을 증명하는 대수적 감소율입니다. 이 테스트는 클린룸의 공기 중 입자 농도 목표와 일치해야 합니다.

지속적인 규정 준수 프레임워크

검증은 일회성 이벤트가 아닙니다. PLC의 데이터 추적은 일관된 작동의 증거를 제공함으로써 지속적인 규정 준수를 지원합니다. 또한 시스템이 검증된 대로 계속 작동하려면 강력한 계획적 예방적 유지보수(PPM) 계획이 필요합니다. 여기에는 정기적인 트랜스듀서 점검, 씰 검사, 모니터링 센서의 캘리브레이션이 포함됩니다. 공급업체는 서비스 에코시스템에 따라 점점 더 차별화되고 있으며, 강력한 PPM 서비스는 운영 위험과 총소유비용을 직접적으로 줄여줍니다.

선택 기준으로서의 공급업체 지원

검증 프로세스 자체에 공급업체의 지원이 필요한 경우가 많습니다. 공급업체가 설치 자격(IQ) 및 운영 자격(OQ) 프로토콜을 제공하고 PQ를 지원할 수 있는 능력은 중요한 요소입니다. 교육, 문서화, 대응 서비스를 포함하는 이러한 지원 에코시스템은 하드웨어만큼이나 중요합니다. 이를 통해 전체 수명 주기 동안 자본 투자가 규정을 준수하고 운영 상태를 유지하여 시설의 규제 상태를 보호할 수 있습니다.

출처: ISO 14644-1:2015. 검증을 통해 시스템이 공기 중 입자 농도를 목표 클린룸 ISO 등급에 적합한 수준으로 감소시켜 입자 수 감소가 측정 가능한 주요 결과임을 확인해야 합니다.

화학물질 주입 및 헹굼 주기 통합

화학 물질 투여로 기능 향상

비례 도징 펌프는 옵션 모듈로 통합할 수 있습니다. 이를 통해 소독제나 살균제를 포그 스트림에 도입할 수 있습니다. 그러면 시스템은 수동적인 입자 제거에서 능동적인 미생물 제어로 전환하여 생물학적 오염 위험을 해결합니다. 이 옵션은 강력한 화합물 입자와 생물학적 제제 모두에 대한 이중 목적 봉쇄를 지향하는 업계의 추세를 반영합니다. 이러한 화학물질 주기를 검증하려면 관련 표준에 따라 화학물질 농도, 접촉 시간 및 잔류물 제거를 증명하는 추가 단계가 필요합니다.

재사용 가능한 PPE 전략 지원

별도의 옵션 모듈을 사용하면 더 거친 물 분사를 사용한 헹굼 사이클과 건조를 위한 HEPA 필터 에어 샤워를 추가할 수 있습니다. 이 모듈은 재사용 가능한 클린룸 의류를 사용하는 시설을 위해 명시적으로 설계되었습니다. 이 모듈은 시설 내에 폐쇄형 PPE 관리 시스템을 구축하여 장기적으로 의복 비용과 폐기물을 줄일 수 있습니다. 이 모듈을 포함하기로 한 결정은 조직의 광범위한 PPE 전략 및 비용 모델의 직접적인 기능입니다. 이 모듈은 자본 투자와 운영 프로토콜을 연결합니다.

완전한 오염 제거 라인 구성

이 모듈을 사용하면 미스트 샤워를 미생물 제거를 위한 화학 안개, 잔류물 제거를 위한 물 헹굼, 건조를 위한 에어 샤워 등 다단계 오염 제거 라인으로 구성할 수 있습니다. 이러한 수준의 통합을 위해서는 배수, 약품 보관 및 사이클 시간 증가에 대한 신중한 계획이 필요합니다. 이는 고도의 격리 또는 멸균 처리 애플리케이션에서 흔히 볼 수 있는 최고 수준의 오염 제거 프로토콜에 대한 약속을 나타냅니다.

출처: ANSI/AAMI ST98:2022. 화학 물질 투여의 통합은 정의된 세척제에 대한 검증 요건에 부합하며, 헹굼 주기는 의류와 같은 재사용 가능한 품목의 프로세스 검증을 처리합니다.

디자인 고려 사항: 레이아웃, 공간 및 유지 관리

인력 흐름 및 레이아웃 구성

물리적 구성은 장기적인 워크플로 패턴에 고정되어 있습니다. 직선형 터널 설계는 선형적이고 처리량이 많은 프로세스를 지원합니다. 직각 또는 다중 도어 설계는 코너 공간에 적합하거나 “더러운” 쪽과 “깨끗한” 쪽을 보다 명확하게 분리할 수 있습니다. 선택은 클린룸의 인력 흐름 철학 및 기존 아키텍처와 일치해야 합니다. 레이아웃을 잘못 선택하면 병목 현상이 발생하거나 절차적 미봉책으로 인해 격리가 손상될 수 있습니다.

전략적 유지 관리 액세스

유지보수를 위한 설계는 전략적입니다. 전면 또는 측면 액세스 패널과 플러그 앤 플레이 구성 요소를 갖춘 모듈식 철학으로 평균 수리 시간을 최소화합니다. 360도 스프레이 볼이 장착된 통합 CIP(Clean-in-Place) 시스템과 같은 기능은 수동으로 닦지 않고도 일상적인 챔버 청소를 용이하게 하여 규정 준수를 지원하고 노동력을 절감합니다. 이러한 기능은 시설 계획 시 반드시 평가해야 하며, 유지보수 접근성을 개선하기 위한 개조는 많은 비용과 혼란을 초래하는 경우가 많습니다.

공간 및 유틸리티 통합

장치의 설치 공간 외에도 유지보수 접근을 위한 공간을 할당하고 유틸리티를 계획해야 합니다. 여기에는 급수 및 배수 연결, PLC 및 트랜스듀서를 위한 전력, 고급 모듈을 위한 압축 공기 또는 화학 물질 공급 라인이 포함됩니다. 설계 단계에서 이러한 통합 요구 사항을 간과하면 프로젝트가 지연되는 경우가 많습니다. 배수 시스템은 물뿐만 아니라 잠재적인 화학 잔류물도 처리해야 하므로 적절한 재료와 봉쇄가 필요합니다.

출처: 기술 문서 및 업계 사양.

클린룸에 적합한 미스트 샤워 선택하기

기본 사양 설정

선택 프로세스는 반드시 5~10미크론 크기의 검증된 성능이라는 협상 불가 항목부터 시작해야 합니다. 공급업체에 테스트 데이터 또는 성능 검증 보고서를 요청하세요. 이 사양은 오염 제거 효능의 핵심 결정 요인입니다. 동시에 클린룸 워크플로와 물리적 공간 제약에 대한 명확한 분석을 바탕으로 구성을 선택해야 합니다. 직각 클린룸 직원 오염 제거 시스템 공간을 절약할 수 있지만 직선형 디자인에 비해 처리량이 느려질 수 있습니다.

운영 프로토콜에 맞추기

표준 포깅과 선택적 헹굼 또는 화학적 주기 중 어떤 것을 선택할지는 조직의 현재와 미래의 요구 사항을 반영해야 합니다. 일회용 의류를 사용하는 시설에서는 헹굼 사이클이 필요하지 않을 수 있지만, 재사용 가능한 방호복에 투자하는 시설에서는 헹굼 사이클이 필요할 수 있습니다. 마찬가지로 생물학적 제제를 취급하는 작업장에서는 화학 물질 투여 옵션이 필요할 수 있습니다. 이러한 결정은 장기적인 안전 및 운영 프로토콜에 따라 자본 투자를 조정하여 교육, 검증 및 일상적인 사용에 영향을 미칩니다.

전체 수명 주기 패키지 평가

평가는 유닛을 넘어 공급업체의 수명 주기 지원까지 확장되어야 합니다. PPM 계획의 포괄성, 서비스 네트워크의 응답성, 검증 지원의 깊이를 검토하세요. 업계 전반의 도입으로 표준화가 압박을 받고 있는 상황에서 지식이 풍부한 파트너와 협력하면 선택한 시스템이 현재의 규제 요구 사항을 모두 충족하고 진화하는 표준에 적응할 수 있도록 보장할 수 있습니다. 이러한 지원 에코시스템의 품질은 운영 위험, 가동 시간, 총 소유 비용에 직접적인 영향을 미칩니다.

출처: ISO 14644-14:2016. 적합한 장비를 선택하려면 클린룸 환경에 미치는 영향을 평가하고 핵심 효율성, 레이아웃 및 운영 지원을 ISO 분류 유지와 직접 연결시켜야 합니다.

미스트 샤워 시스템 도입 여부는 세 가지 우선순위에 따라 결정됩니다. 첫째, 효과의 핵심인 5~10미크론 물방울 성능에 대한 검증된 증거를 확보해야 합니다. 둘째, 새로운 병목 현상이 발생하지 않도록 인력 흐름과 유지보수 액세스를 중심으로 통합을 설계합니다. 셋째, 서비스 및 검증 지원을 통해 장기적인 운영 위험을 완화하여 시스템을 유지보수 책임이 아닌 신뢰할 수 있는 엔지니어링 제어로 전환할 수 있는 공급업체를 선택합니다.

시설의 특정 ISO 등급 및 워크플로우에 맞는 미스트 샤워 시스템을 지정하고 검증하는 데 전문적인 지침이 필요하신가요? 오염 제어 엔지니어가 YOUTH 는 애플리케이션별 분석 및 기술 문서 검토를 제공할 수 있습니다. 클린룸의 오염 제거 요구 사항에 대해 논의하려면 문의하세요.

자주 묻는 질문

Q: 개인 오염 제거에 5~10미크론 비말 크기가 중요한 이유는 무엇이며, 어떻게 달성할 수 있나요?
A: 이 특정 크기 범위는 효과적인 입자 캡슐화와 최소한의 보호복 젖음 사이의 균형을 맞추도록 설계되었습니다. 초음파 분무는 고주파 음파를 사용하여 이 대역 내에서 정밀하게 보정된 안개를 생성하여 액체가 유출되지 않고 물방울이 오염 물질을 둘러싸고 무게를 줄이도록 합니다. 즉, 강력한 분말을 취급하는 시설은 미스트 생성뿐만 아니라 오염 제거 효과의 주요 벤치마크로서 이 사양을 확인해야 합니다.

Q: PLC는 미스트 샤워를 단순한 장비에서 검증된 공정 단계로 어떻게 전환하나요?
A: 프로그래머블 로직 컨트롤러는 사이클 타이밍을 자동화하고, 일관된 미스트 품질을 위해 압력 등 중요한 매개변수를 모니터링하며, 감사 가능한 데이터 추적을 제공합니다. 이 제어를 통해 검증된 포그 레시피를 저장하고 규정 준수 문서를 지원할 수 있습니다. 규제를 받는 프로젝트의 경우 PLC를 품질 관리 시스템에 통합할 계획을 세우고 담당자가 운영 및 데이터 관리에 대한 교육을 받도록 해야 합니다.

Q: 기존 클린룸 레이아웃에 미스트 샤워를 통합하기 위한 핵심 설계 요소는 무엇인가요?
A: 직선형, 코너형 또는 다중 도어 챔버 구성 중에서 선택할 수 있는 주요 요인은 인력 흐름 패턴과 사용 가능한 공간입니다. 유지보수 접근성과 모듈식 구성 요소 설계는 서비스 중 운영 중단 시간을 최소화하는 데 똑같이 중요합니다. 즉, 시설 계획 팀은 초기 설계 단계에서 이러한 물리적 및 워크플로 제약을 평가하여 향후 병목 현상을 방지해야 합니다.

Q: 시설에서 기본 미스트 샤워에 약품 투여 또는 헹굼 주기 옵션을 추가하는 것을 언제 고려해야 하나요?
A: 미립자 제거와 함께 미생물 제어가 필요한 경우 소독제 비례 주입 펌프를 고려해야 하며, 이는 이중 목적의 방역 전략을 나타냅니다. 재사용 가능한 의류를 사용하는 시설의 경우, 더 거친 스프레이를 사용하는 별도의 헹굼 사이클을 통해 자본 투자를 PPE 비용 모델과 직접 연결하는 것이 전략적입니다. 운영에서 진화하는 생물학적 안전 요건을 예상하는 경우, 이러한 옵션 모듈은 미래에 대비할 수 있지만 유틸리티 연결에 대한 사전 계획이 필요합니다.

질문: 미스트 샤워 성능은 어떻게 검증되며, 벤더 지원은 어떤 역할을 하나요?
A: 검증은 시스템이 지정된 입자 감소를 달성하여 엔지니어링된 비말 크기를 측정 가능한 결과로 변환하는지 확인합니다. 이 프로세스는 PLC의 데이터 로깅에 의존하며 공급업체의 계획 예방적 유지보수(PPM) 계획 및 서비스 에코시스템에서 지원해야 합니다. 즉, 다음과 같은 표준에 따라 이러한 요소가 총 소유 비용 및 규제 준비에 직접적인 영향을 미치므로 공급업체를 선택할 때 장기적인 지원 및 검증 지원을 중요하게 고려해야 합니다. ISO 14644-14:2016.

Q: 미스트 샤워 시스템을 평가하고 운영하는 데 관련된 클린룸 표준에는 어떤 것이 있나요?
A: 미스트 샤워는 다음 지침에 따라 작동하는 환경의 미립자 분류에 적합해야 합니다. ISO 14644-1:2015 공기 청정도를 위해. 작동 중 장비의 입자 배출 특성 평가는 다음과 같은 경우에 해당합니다. ISO 14644-14:2016. 즉, 자격 인증 프로토콜은 이러한 표준을 참조하여 시스템이 제어 환경의 무결성을 손상시키지 않고 유지하도록 해야 합니다.