클린룸 환경에서는 기존의 HVAC 시스템을 훨씬 뛰어넘는 정밀한 공기 여과가 필요합니다. 제약 제조 시설, 반도체 클린룸 또는 생명 공학 실험실을 관리하든, 다음 사항을 이해해야 합니다. 에어 필터의 기본 사항 규정 준수와 운영 효율성을 유지하는 데 매우 중요합니다. 최신 클린룸 여과 시스템의 복잡성은 기술 사양, 에너지 비용, 엄격한 오염 제어 요건을 해결해야 하는 시설 관리자를 압도하는 경우가 많습니다.
그 위험성은 이보다 더 클 수 없습니다. 제약 클린룸에서 한 번의 여과 실패로 수백만 달러의 제품 리콜 비용이 발생할 수 있으며, 반도체 제조에서 부적절한 입자 제어는 수익성에 직접적인 영향을 미치는 수율 손실로 이어집니다. 최근 업계 데이터에 따르면 클린룸 오염 사고의 73%는 불충분한 공기 여과 설계 또는 유지보수 관행에서 비롯된 것으로 나타났습니다.
이 종합 가이드는 클린룸 공기 여과를 마스터하는 데 필요한 기술적 인사이트와 실용적인 전략을 제공합니다. HEPA 필터 선택 원칙부터 고급 여과 기술까지, 주요 시설에서 운영 비용을 최적화하면서 일관된 오염 제어를 달성하기 위해 사용하는 입증된 접근 방식을 살펴봅니다. YOUTH 클린 테크 수십 년간 쌓아온 클린룸 필터링 전문 지식을 바탕으로 이러한 중요한 결정을 내리는 데 도움을 드립니다.
공기 필터의 기본은 무엇이며 클린룸에서 중요한 이유는 무엇인가요?
공기 필터의 기본은 입자 제거 효율, 공기 흐름 역학 및 통제된 환경에서의 오염 제어를 관리하는 핵심 원칙을 포괄합니다. 표준 건물 필터와는 다릅니다, 클린룸 공기 필터 기본 사항 입자 크기 분포, 필터 매체 특성, 엄격한 청결도 분류 사이의 관계를 이해해야 합니다.
효과적인 클린룸 여과의 기본은 충돌, 차단, 확산이라는 세 가지 주요 메커니즘에 있습니다. 0.5마이크론보다 큰 입자는 일반적으로 필터 섬유와 충돌하면서 충돌을 일으키고, 그보다 작은 입자는 섬유 표면에 의해 차단될 때까지 공기 흐름을 따라 이동합니다. 0.1마이크론 이하의 서브미크론 입자는 브라운 운동을 나타내며 확산 기반 캡처로 이어집니다.
현대의 클린룸 애플리케이션은 불과 20년 전만 해도 불가능하다고 여겨졌던 여과 효율 수준을 요구합니다. 오늘날의 고효율 시스템은 0.3미크론 입자에 대해 99.999%의 입자 제거를 일상적으로 달성하며, 일부 특수 응용 분야에서는 더 높은 성능 표준이 필요합니다.
필터 유형 | 0.3μm에서의 효율성 | 일반적인 애플리케이션 | 압력 강하(Pa) |
---|---|---|---|
HEPA H13 | 99.95% | 제약, 식품 | 150-250 |
HEPA H14 | 99.995% | 반도체, 의료 기기 | 200-300 |
ULPA U15 | 99.9995% | 고급 전자 제품 | 250-350 |
클린룸 환경에서 고효율 공기 필터는 어떻게 작동할까요?
HEPA 필터 메커니즘 및 성능 표준
HEPA 필터는 클린룸 여과 시스템의 초석으로, 지속적인 공기 흐름에서 구조적 무결성을 유지하면서 표면적을 극대화하는 주름진 미디어 구조를 활용합니다. 기본 설계는 극세사 유리 또는 섬유 직경이 0.5~2.0마이크론인 합성 매체를 통합하여 오염 입자를 효과적으로 포집하는 구불구불한 경로를 만듭니다.
HEPA 필터의 기본 사항 세 가지 포집 메커니즘이 모두 가장 효과적으로 작동하지 않는 0.1~0.2마이크론에서 일반적으로 발생하는 가장 투과성이 높은 입자 크기(MPPS)를 중심으로 합니다. 엔지니어들은 이 까다로운 입자 크기 범위에서 최대 효율을 달성하기 위해 특별히 HEPA 시스템을 설계하여 전체 스펙트럼에서 우수한 성능을 보장합니다.
제약 고객과 함께 일한 경험에 따르면, 적절한 HEPA를 선택하려면 효율성 요구 사항과 에너지 소비의 균형을 맞춰야 합니다. 한 선도적인 생물학적 제제 제조업체는 ISO 7 분류 표준을 유지하면서 과도하게 지정된 H14 필터에서 중요하지 않은 지원 영역에서 최적으로 선택된 H13 장치로 전환하여 연간 에너지 비용을 18% 절감했습니다.
초정밀 애플리케이션을 위한 ULPA 필터
ULPA(초저 침투 공기) 필터는 기존 HEPA 표준을 뛰어넘는 성능으로 0.12마이크론 입자에 대해 99.999% 이상의 효율을 달성합니다. 이러한 고급 여과 시스템은 한 자릿수 입자 수에도 수율에 영향을 미칠 수 있는 반도체 제조 시설에서 필수적인 요소입니다.
ULPA 필터에 필요한 제조 정밀도는 정전기 충전 공정과 세심하게 제어되는 플리팅 절차를 포함한 특수 생산 기술을 필요로 합니다. 최근 나노 섬유 기술의 발전으로 40%의 낮은 압력 강하를 구현하면서도 우수한 입자 포집 성능을 유지하는 ULPA 필터가 가능해졌습니다.
그러나 ULPA를 구현하려면 시스템 설계에 신중한 고려가 필요합니다. ULPA 필터와 관련된 높은 압력 강하로 인해 팬 에너지 소비가 동급 HEPA 설치에 비해 25~35% 증가할 수 있으므로 장기적인 운영 계획에 있어 에너지 효율 분석이 중요합니다.
클린룸 설계의 핵심 공기 여과 원리는 무엇인가요?
입자 크기 분포 및 캡처 효율성
입자 크기 분포 패턴을 이해하는 것은 효과적인 클린룸 여과 시스템 기본 사항. 실제 오염은 이론적 모델을 따르는 경우가 거의 없으며, 실제 입자 분포는 공정 활동, 인력 이동 및 외부 환경 조건에 따라 크게 달라집니다.
국제 클린룸 과학 연구소에서 실시한 연구에 따르면 85%의 제약 클린룸은 0.3마이크론과 1.2마이크론에서 피크가 발생하는 바이모달 입자 분포를 경험하는 것으로 나타났습니다. 이 분포 패턴은 필터 선택 전략과 시스템 설계 매개변수에 직접적인 영향을 미칩니다.
"수백 개의 클린룸 설치를 분석하면서 얻은 핵심 인사이트는 운영 주기에 따라 입자 문제가 크게 달라진다는 것입니다. 정상 상태 조건만을 위해 설계된 시스템은 중요한 생산 단계에서 성능이 저하되는 경우가 많습니다." - Sarah Chen 박사, 오염 제어 연구 책임자
효과적인 여과 설계는 안전 계수를 통합하고 다양한 도전 수준에서 효율성을 유지할 수 있는 필터를 선택함으로써 동적 입자 부하 조건을 고려합니다. 이러한 접근 방식은 입자 발생이 크게 증가하는 활동성이 높은 기간에도 일관된 성능을 보장합니다.
공기 흐름 패턴 및 필터 배치 전략
클린룸 HVAC 시스템 내에 전략적으로 필터를 배치하려면 공급 공기, 환기 공기, 공정 장비 환기 사이의 복잡한 공기 흐름 상호 작용을 이해해야 합니다. 기본 원칙 공기 여과 원리 클린룸 설계는 중요한 작업 영역에서 오염 물질을 쓸어내는 층류 패턴을 만드는 데 중점을 둡니다.
천장에 장착된 하우징 유닛에 설치된 터미널 HEPA 필터는 최종 여과 단계를 제공하지만, 사전 여과 전략은 전체 시스템 성능과 필터 수명에 큰 영향을 미칩니다. 잘 설계된 3단계 필터링 접근 방식에는 일반적으로 다음이 포함됩니다:
- 큰 입자를 제거하고 다운스트림 필터 수명을 연장하는 프리필터(30-35% 효율)
- 중간 크기의 오염 물질을 처리하는 중간 필터(85-95% 효율)
- 초고효율 입자 제거를 제공하는 최종 HEPA/ULPA 필터
주요 반도체 시설의 사례 연구 분석 결과, 최적화된 사전 여과 설계로 HEPA 필터 수명이 18개월에서 32개월로 연장되어 연간 여과 비용이 $147,000 절감되는 동시에 ISO 4 청결 수준을 일관되게 유지한 것으로 나타났습니다.
필터링 단계 | 입자 크기 범위 | 주요 기능 | 일반적인 서비스 수명 |
---|---|---|---|
사전 필터링 | >10미크론 이상 | 거친 입자 제거 | 3~6개월 |
중급 | 1-10 미크론 | 중간 입자 캡처 | 6-12개월 |
최종 HEPA | 0.1-1 미크론 | 초미세 여과 | 12-36개월 |
애플리케이션에 적합한 고효율 필터는 어떻게 선택하나요?
ISO 분류 요건 및 필터 선택
ISO 14644 청결도 분류는 최소 여과 효율 요건을 직접 결정하는 특정 입자 수 제한을 설정합니다. ISO 등급과 필터 성능 간의 관계를 이해하면 과도한 사양을 피하면서 규정을 준수할 수 있는 정보에 입각한 선택 결정을 내릴 수 있습니다.
ISO 5 클린룸(클래스 100)의 경우, 최소 H13 효율의 터미널 HEPA 필터는 일반적으로 대부분의 애플리케이션에 적절한 입자 제어 기능을 제공합니다. 그러나 미크론 이하의 심각한 오염이 발생하는 공정에서는 지정된 한도 이하로 일관된 입자 수를 유지하기 위해 H14 또는 ULPA 필터가 필요할 수 있습니다.
제약 산업은 생물학적 오염을 제어하기 위해 ISO 분류에서 제시하는 것보다 더 엄격한 여과가 필요한 경우가 많은 독특한 과제를 안고 있습니다. 최근 FDA 경고장을 분석한 결과, 환경 모니터링과 관련된 위반 사항 중 34%는 기술적으로는 준수하지만 실질적으로 불충분한 여과 시스템을 사용하는 시설과 관련된 것으로 나타났습니다.
생명공학 고객과의 경험을 통해 다음과 같은 사실을 알 수 있습니다. 고효율 필터 시스템 최소 요구 사항보다 높은 20-30% 성능 마진으로 설계되어 장비 유지보수 및 예기치 않은 오염 발생 시 운영 유연성을 제공합니다.
에너지 효율성 대 여과 성능의 균형
여과 성능과 에너지 소비의 균형을 맞추려면 필터 교체 빈도, 팬 전력 소비, 운영 중단 시간 비용 등 수명 주기 비용에 대한 정교한 분석이 필요합니다. 첨단 미디어 설계가 적용된 최신 고효율 필터는 기존 대안에 비해 압력 강하를 15~25%까지 줄이면서 우수한 입자 포집을 달성할 수 있습니다.
최근 주름 미디어 기술의 혁신으로 주름 밀도가 증가하고 섬유 방향이 최적화된 필터가 생산되어 먼지 보유 능력이 향상되고 서비스 주기가 연장되었습니다. 이러한 개선은 유지보수 비용 절감과 시스템 안정성 향상으로 직결됩니다.
그러나 에너지 최적화 전략은 클린룸별 운영 요건을 고려해야 합니다. 압력 강하가 낮으면 팬 에너지 소비가 줄어들지만, 공기 변화율이 충분하지 않으면 오염 제어 효과가 저하되어 에너지 절감 효과를 훨씬 뛰어넘는 값비싼 제품 손실이 발생할 수 있습니다.
클린룸 공기 여과 시스템의 일반적인 과제는 무엇인가요?
필터 로딩 및 압력 강하 관리
점진적인 필터 로딩은 클린룸 여과 관리에서 가장 중요한 운영 과제 중 하나입니다. 필터 매체 내에 입자가 쌓이면 압력 강하가 기하급수적으로 증가하여 HVAC 시스템이 더 열심히 작동해야 하는 동시에 클린룸 전체의 공기 흐름 균일성이 저하될 수 있습니다.
업계 데이터에 따르면 필터 압력 강하는 일반적으로 필터 수명의 첫 60% 동안 두 배로 증가한 후 먼지 부하가 용량 한계에 가까워지면 급격히 증가합니다. 이러한 비선형 관계는 유지보수 일정을 복잡하게 만들고 예기치 않은 시스템 성능 저하로 이어질 수 있습니다.
차압 모니터링과 입자 계수를 활용한 예측 유지보수 전략은 필터 포화 상태에 대한 조기 경고를 제공합니다. 자동화된 모니터링 시스템을 도입한 한 제약 시설은 긴급 필터 교체 횟수를 671회 줄이면서 평균 필터 사용 수명을 231회 연장했습니다.
자동화된 모니터링은 귀중한 운영 인사이트를 제공하지만, 센서 네트워크와 데이터 관리 시스템에 대한 초기 투자에는 상당한 자본 지출이 필요할 수 있습니다. 시설에서는 모니터링 비용과 최적화된 필터 교체 일정을 통한 잠재적 절감 효과를 비교 평가해야 합니다.
유지 관리 예약 및 성능 모니터링
효과적인 유지 관리 프로토콜을 개발하려면 필터 서비스 수명 최적화와 오염 제어 보증의 균형을 맞춰야 합니다. 기존의 시간 기반 교체 일정은 종종 운영 비용을 증가시키는 조기 필터 교체로 이어지며, 조건 기반 접근 방식은 정교한 모니터링 기능을 필요로 합니다.
클린룸 공기 필터 기본 사항 필터 성능 저하는 모든 장치에서 균일하게 발생하는 경우가 드물다는 점을 이해해야 합니다. 공기 흐름 분포, 입자 적재 패턴, 지역 환경 조건의 변화로 인해 동일한 필터 설치라 하더라도 서비스 요구 사항이 달라질 수 있습니다.
"성공적인 클린룸 여과 관리를 위해서는 각 필터 뱅크를 특정 성능 특성을 가진 고유한 시스템으로 취급해야 한다는 것을 알게 되었습니다. 일반적인 유지보수 접근 방식으로는 고객이 요구하는 운영 안정성을 제공할 수 없습니다." - 마크 로드리게스, 선임 애플리케이션 엔지니어
고급 시설에서는 지역별 오염원 및 공정 활동을 고려한 구역별 유지관리 전략을 구현합니다. 이러한 맞춤형 접근 방식을 통해 시설 전체의 엄격한 청결 요건을 유지하면서 필터 활용도를 최적화할 수 있습니다.
고급 필터 기술은 클린룸 성능을 어떻게 향상시킬까요?
정전기 필터 및 충전된 미디어
정전기 여과 기술은 기존의 기계적 여과를 보완하는 전하 메커니즘을 통해 입자 포집 효율을 향상시킵니다. 충전된 섬유 매체는 정전기 인력을 생성하여 특히 기계적 메커니즘이 가장 효과적으로 작동하지 않는 0.1~0.3미크론 범위의 입자에 대해 미크론 이하 입자 포집을 크게 개선합니다.
최근 전기방사 기술의 발전으로 필터 수명 내내 정전기 특성을 유지하는 영구적으로 하전된 섬유를 가진 나노 섬유 필터 미디어가 생산되었습니다. 이러한 첨단 소재는 기존 유리 섬유 미디어에 비해 30~40% 낮은 압력 강하로 HEPA 수준의 효율을 달성합니다.
그러나 습기로 인해 전하 유지력이 저하되는 습도가 높은 환경에서는 정전기 필터 성능이 저하될 수 있습니다. 증기 또는 용매 증기가 많은 클린룸 환경에서는 정전기 필터 적합성을 신중하게 평가해야 하며 하이브리드 여과 방식을 사용하는 것이 도움이 될 수 있습니다.
하이브리드 여과 시스템
하이브리드 여과 시스템은 여러 포집 메커니즘을 결합하여 다양한 입자 크기 범위와 오염 문제에 걸쳐 성능을 최적화합니다. 이러한 첨단 시스템은 일반적으로 기계적 여과와 정전기 강화, 활성탄 흡착 또는 광촉매 산화를 통합하여 포괄적인 오염 물질 제어를 수행합니다.
반도체 산업은 기존의 입자 제거와 함께 특수 기체상 여과를 통해 분자 오염을 제어해야 하는 하이브리드 여과 응용 분야를 개척했습니다. 고급 클린룸 여과 시스템 분자 필터를 통합하면 중요한 공정 가스에 대해 10억분의 1 수준의 오염 제어를 달성할 수 있습니다.
통합의 복잡성은 하이브리드 여과 시스템의 가장 큰 한계입니다. 여러 여과 기술을 사용하려면 조정된 유지보수 일정, 전문 모니터링 장비, 고도로 숙련된 기술 인력이 필요합니다. 초기 시스템 비용은 일반적으로 기존 여과 방식보다 150-200% 정도 높지만, 운영상의 이점이 중요한 애플리케이션에 대한 투자를 정당화할 수 있는 경우가 많습니다.
기술 유형 | 주요 이점 | 일반적인 애플리케이션 | 구현 복잡성 |
---|---|---|---|
정전기 강화 | 향상된 서브미크론 캡처 | 전자, 항공우주 | Medium |
분자 여과 | 기체상 오염 제어 | 반도체 | 높음 |
광촉매 시스템 | 생물학적 비활성화 | 제약, 헬스케어 | 높음 |
결론
공기 필터의 기본을 이해하는 것은 성능, 효율성, 비용 효율성의 균형을 이루는 성공적인 클린룸 여과 시스템을 설계하고 운영하기 위한 토대가 됩니다. 기본 HEPA 필터 선택 원칙부터 고급 하이브리드 기술까지, 핵심은 운영 유연성을 유지하면서 특정 애플리케이션 요구사항에 맞게 필터링 기능을 맞추는 데 있습니다.
클린룸 여과 환경은 첨단 소재, 예측 유지보수 기술, 에너지 효율적인 설계를 통해 운영 비용을 절감하고 오염 제어 성능을 개선하는 등 계속 진화하고 있습니다. 종합적인 여과 전략을 구현하는 시설은 규제 준수율 향상과 함께 총 소유 비용을 15~251% 절감한 것으로 보고되었습니다.
앞으로 성공적인 클린룸 운영은 최적화된 필터 선택, 예측 유지보수, 고급 모니터링 시스템을 결합한 통합 접근 방식에 점점 더 의존하게 될 것입니다. 오염 제어 요건이 더욱 엄격해지고 에너지 비용이 계속 상승함에 따라 이러한 요건을 마스터하는 시설은 고효율 필터의 기본 는 뛰어난 운영 안정성과 비용 관리를 통해 경쟁 우위를 유지합니다.
현재의 필터링 접근 방식이 이러한 진화하는 과제를 어떻게 해결하고 있는지 생각해 보세요. 첨단 기술과 최적화 전략을 활용하여 클린룸 투자에서 최대의 가치를 창출하고 있나요? 차세대 클린룸 여과 솔루션 는 포괄적인 오염 제어 전략을 수용할 준비가 된 시설에 전례 없는 기회를 제공합니다.
자주 묻는 질문
Q: 클린룸 여과에서 고효율 공기 필터의 기본 원리는 무엇인가요?
A: HEPA 및 ULPA 필터와 같은 고효율 공기 필터는 촘촘한 미세 다공성 섬유 네트워크를 통해 공기 중의 입자를 포집하는 방식으로 작동합니다. HEPA 필터는 0.3마이크론 이상의 입자를 99.97% 이상 제거하며, ULPA 필터는 99.999% 효율로 더 작은 입자까지 포집합니다. 이러한 필터는 먼지, 미생물 및 기타 오염 물질을 제거하여 엄격한 공기 품질을 유지하기 위해 클린룸 환경에서 필수적입니다. 이 필터의 효과는 프리 필터가 큰 입자를 먼저 걸러내어 고효율 필터를 보호하고 수명을 연장하는 다단계 여과 시스템에 의존합니다.
Q: 클린룸 애플리케이션에서 HEPA 필터는 ULPA 필터와 어떻게 다릅니까?
A: HEPA(고효율 미립자 공기) 필터와 ULPA(초미립자 침투 공기) 필터는 입자 포집 효율과 비용 면에서 주로 차이가 있습니다. HEPA 필터는 0.3마이크론에서 99.97%의 입자를 제거하므로 대부분의 클린룸 환경에 적합합니다. ULPA 필터는 99.999% 효율로 0.1마이크론까지 입자를 포집하여 우수한 여과 성능을 제공하지만 비용과 에너지 사용량이 더 높습니다. HEPA 필터는 필터 수명이 길고 운영 비용이 낮은 경향이 있어 초미세 입자 여과가 필요하지 않은 경우 널리 사용되는 선택입니다.
Q: 클린룸 공기 여과 시스템에서 사전 여과가 중요한 이유는 무엇인가요?
A: 사전 여과는 공기가 HEPA 또는 ULPA와 같은 고효율 필터에 도달하기 전에 더 큰 입자를 포집하기 때문에 매우 중요합니다. 이 단계는 이러한 중요한 필터의 막힘과 손상을 줄여 필터의 수명을 연장하고 공기 흐름의 효율성을 유지합니다. 프리필터는 큰 오염 물질을 조기에 차단함으로써 유지보수 비용을 낮추고 시스템 가동 중단 시간을 줄이며 에너지 소비를 최적화하여 클린룸의 공기 품질과 운영 성능을 전반적으로 향상시킵니다.
Q: 클린룸에서 고효율 공기 필터의 일반적인 적용 분야는 무엇인가요?
A: 고효율 공기 필터는 제약, 반도체 제조, 생명공학, 헬스케어 등 통제된 환경이 필요한 산업 전반에서 사용됩니다. 먼지, 박테리아, 화학 부산물과 같은 유해 입자를 걸러내어 오염을 제어합니다. 이 필터는 규정을 준수하는 공기질 수준을 유지하여 클린룸 내의 민감한 프로세스, 제품 및 인력을 보호합니다.
Q: 고효율 공기 필터는 클린룸 운영 비용과 지속 가능성에 어떤 영향을 미칠까요?
A: 고효율 필터는 공기 청정도를 유지하는 데 필수적이며, 필터의 성능과 수명은 운영 비용에 직접적인 영향을 미칩니다. 효과적인 사전 여과를 포함한 적절한 여과 설계는 필터 교체 빈도와 에너지 사용량을 줄여줍니다. 지속 가능한 필터 기술은 내구성과 효율성을 최적화하여 유지보수 비용과 환경에 미치는 영향을 모두 줄여줍니다. 따라서 고품질 필터와 유지보수 전략에 투자하면 클린룸 공기질과 비용 효율적이고 친환경적인 운영의 균형을 맞출 수 있습니다.
Q: 클린룸용 고효율 공기 필터를 선택할 때 고려해야 할 요소는 무엇인가요?
A: 주요 요인으로는 필요한 입자 크기 포집 효율, 클린룸 분류 기준, 필터 수명, 에너지 소비 및 비용 등이 있습니다. HEPA 필터는 0.3마이크론 입자 제거로 충분한 대부분의 클린룸에 적합하며, ULPA 필터는 매우 청결한 환경에 필요합니다. 또한 최적의 성능과 유지보수를 보장하기 위해 필터 형식, 교체 용이성, 기존 HVAC 시스템과의 호환성을 평가해야 합니다.
외부 리소스
- 클린룸 입자 여과 기본 사항 - Lighthouse Worldwide Solutions - 이 문서에서는 클린룸 환경에서 HEPA 및 ULPA 필터의 역할과 한계를 포함하여 클린룸 입자 여과 기본 사항에 대한 간결한 개요를 제공합니다.
- 클린룸 공기 여과: 필터의 종류와 필터의 기능 - Allied Cleanrooms - 고효율 미립자 공기(HEPA) 필터, 표준 및 적용 기본 사항을 중심으로 클린룸에서 사용되는 공기 필터의 유형에 대해 설명합니다.
- HEPA 및 ULPA 필터에 대한 최종 가이드 - Terra Universal - HEPA 및 ULPA 필터의 정의, 효율 등급, 장점 및 클린룸 필터링 요구 사항에 대해 자세히 살펴봅니다.
- HEPA 필터에 대해 알아야 할 거의 모든 것 - TRC 헬스케어 - 통제된 환경에서 공기 중 오염 물질을 줄이는 데 중요한 역할을 하는 HEPA 필터 설계, 기능에 대한 포괄적인 개요입니다.
- 지속 가능한 HVAC 여과를 통한 클린룸 공기질 개선 - Camfil USA - 다단계 HVAC 필터링 전략과 프리필터, HEPA 및 ULPA 필터의 이점을 포함하여 클린룸을 위한 지속 가능한 고효율 공기 여과에 대해 설명합니다.
- HEPA 및 ULPA 필터 기본 사항 및 테스트 - 필터 기술 - 고효율 공기 여과, 필터 구조, 효율 표준 및 클린룸 테스트 방법의 기술적 기본 사항을 자세히 설명합니다.