Yarı iletken üretim endüstrisi, modern teknolojideki en sıkı kontaminasyon kontrol gerekliliklerinden bazıları altında faaliyet göstermektedir. Sadece 0,1 mikrometre boyutundaki tek bir parçacık tüm bir mikroçipi tahrip edebilir ve potansiyel olarak üreticilere üretim kaybı ve kusurlu ürünler nedeniyle milyonlara mal olabilir. Gelişmiş yarı iletken üretim tesislerinde yarı iletken filtrasyon Sınıf 10 temiz oda standartlarını karşılayan sistemler sadece önemli değil, operasyonel başarı için kesinlikle kritiktir.

Mevcut endüstri verileri, kontaminasyona bağlı kusurların yarı iletken verim kayıplarının 60%'sine kadarını oluşturduğunu ve kontamine olmuş tek bir yonga plakasının ortalama maliyetinin gelişmiş düğümlerde $50.000'e ulaştığını ortaya koymaktadır. Bu şaşırtıcı rakamlar, yetersiz hava filtreleme sistemlerinin yıkıcı finansal etkisinin altını çizmektedir. Anlık üretim kayıplarının ötesinde, kontaminasyon olayları uzun tesis kapanmalarını, ekipman dekontaminasyon prosedürlerini ve işletme maliyetlerini daha da artıran kapsamlı kalite incelemelerini tetikleyebilir.

Bu kapsamlı kılavuz, aşağıdakiler için teknik özellikleri, uygulama stratejilerini ve performans optimizasyon tekniklerini incelemektedir YOUTH Temiz Teknoloji yarı iletken temiz oda filtrasyon sistemleri. Tutarlı Sınıf 10 hava kalitesi elde etmek için kanıtlanmış metodolojileri keşfedecek, kritik filtre seçim kriterlerini anlayacak ve operasyonel kesintileri en aza indirirken sistem ömrünü en üst düzeye çıkaran en iyi bakım uygulamalarını öğreneceksiniz.

Yarı İletken Filtrasyonu Nedir ve Neden Önemlidir?

Yarı iletken filtrasyonu, havadan partikül giderme teknolojisinin en zorlu uygulamasını temsil eder ve 0,5 mikrometre veya daha büyük ölçülerdeki havanın metreküpü başına 10 partikülden daha azını muhafaza edebilen filtrasyon sistemleri gerektirir. Bu olağanüstü kirlilik kontrolü seviyesi, mikroişlemcilerin, bellek yongalarının ve nanometrelerle ölçülen özellik boyutlarına sahip diğer elektronik bileşenlerin üretilmesini sağlar.

Sınıf 10 Temiz Oda Gerekliliklerini Anlama

Sınıf 10 temiz odalar, ISO 14644-1 standartları, özellikle de 0,1 mikrometrede metreküp başına maksimum 10.000 partiküle ve 0,2 mikrometrede metreküp başına 2.370 partiküle izin veren ISO Sınıf 4 kapsamında çalışır. Bu spesifikasyonlar şunları gerektirir temiz oda sınıfı 10 filtreler minimum verimlilik değerleri 0,12 mikrometrede 99,999%'dir.

Yarı iletken ortamlardaki partikül boyutu dağılımı benzersiz zorluklar ortaya koymaktadır. Geleneksel HVAC sistemleri daha büyük partiküllerin giderilmesine odaklanırken, yarı iletken uygulamaları moleküler kontaminasyonun, gaz çıkaran bileşiklerin ve fotolitografi süreçlerine müdahale edebilecek mikron altı partiküllerin giderilmesini gerektirir. SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) tarafından yapılan endüstri araştırması, yeni nesil yarı iletken düğümlerin daha da sıkı kontaminasyon kontrolü gerektireceğini ve bazı tesislerin Sınıf 1 performans seviyelerini hedeflediğini göstermektedir.

Kritik Kontaminasyon Kaynakları

Önde gelen yarı iletken üreticileriyle çalışma deneyimimize göre, kontaminasyon kaynakları tipik olarak dört kategoriye ayrılmaktadır: personel (partiküllerin 75-80%'sini oluşturur), proses ekipmanı (15-20%), tesis sistemleri (3-5%) ve harici sızıntı (1-2%). Bu oranların anlaşılması, filtrasyon sistemi tasarımı ve yerleştirme stratejilerinin optimize edilmesine yardımcı olur.

HEPA ve ULPA Filtreler Ultra Temiz Performansı Nasıl Elde Eder?

Yüksek Verimli Partikül Hava (HEPA) ve Ultra Düşük Penetrasyonlu Hava (ULPA) filtreleri yarı iletken hava filtrasyonu sistemleri, yoğun lifli ortam kullanarak partikülleri impaksiyon, durdurma ve difüzyon gibi çoklu fiziksel mekanizmalar yoluyla yakalar.

HEPA vs ULPA Performans Özellikleri

ULPA filtreler, en nüfuz edici partikül boyutunda (MPPS) gelişmiş yakalama verimliliği nedeniyle yarı iletken uygulamalarında üstün performans gösterir. HEPA filtreler ise birçok endüstriyel uygulamada üstün performans gösterir, yüksek veri̇mli̇ temi̇z oda fi̇ltreleri̇ ULPA seviyesinde gelişmiş yarı iletken süreçleri için gereken ek güvenlik marjını sağlar.

Çok Aşamalı Filtrasyon Mimarisi

Modern yarı iletken tesislerinde ön filtreleri, HEPA ünitelerini ve ULPA filtrelerini stratejik konfigürasyonlarda birleştiren kademeli filtreleme sistemleri kullanılmaktadır. Ön filtreler daha büyük partikülleri giderir ve aşağı akış filtre ömrünü uzatırken, HEPA filtreler son ULPA parlatma işleminden önce ara temizlik sağlar. Bu yaklaşım, tutarlı hava kalitesini korurken işletme maliyetlerini azaltır.

Çevre Bilimleri ve Teknoloji Enstitüsü (IEST) tarafından yapılan son çalışmalara göre, uygun şekilde tasarlanmış çok aşamalı sistemler ULPA filtre hizmet ömrünü tek aşamalı kurulumlara kıyasla 40-60% uzatarak toplam sahip olma maliyetini önemli ölçüde azaltabilir.

Yarı İletken Filtrasyonu için Temel Teknik Özellikler Nelerdir?

Şunlar için teknik özellikler ultra temi̇z hava si̇stemleri̇ hava akışı homojenliği, basınç düşüşü özellikleri, partikül üretimi ve yarı iletken üretim süreçlerini doğrudan etkileyen kimyasal uyumluluk gereksinimlerini kapsayacak şekilde basit verimlilik değerlerinin ötesine geçer.

Hava Akışı ve Basınç Yönetimi

Tek yönlü hava akışı hızı, Sınıf 10 ortamlarda tipik olarak saniyede 0,36 ila 0,54 metre (dakikada 70-105 fit) arasında değişir ve hız homojenliği çalışma yüzeyi boyunca ±20% içinde tutulur. Bu hassas hava akışı kontrolü, partiküllerin yeniden sürüklenmesini önler ve proses kaynaklı kontaminasyonun tutarlı bir şekilde giderilmesini sağlar.

İlk basınç düşüşü özellikleri filtre tipine ve boyutuna göre değişir; standart 610 mm x 610 mm ULPA filtreler yeniyken tipik olarak 250-350 Pa (1,0-1,4 inç su göstergesi) değerine sahiptir. Değiştirme kriterleri genellikle sistem tasarımı ve enerji yönetimi önceliklerine bağlı olarak basınç düşüşü 500-750 Pa'ya ulaştığında filtre değişimini belirtir.

Kimyasal ve Moleküler Kontaminasyon Kontrolü

Partikül gideriminin ötesinde, yarı iletken filtreleme sistemleri, cihaz performansını etkileyebilecek asitler, bazlar, organikler ve dopantlar dahil olmak üzere Havadan Kaynaklanan Moleküler Kontaminasyonu (AMC) ele almalıdır. Aktif karbon, potasyum permanganat veya tescilli sorbent malzemeler içeren özel kimyasal filtreler, kapsamlı kontaminasyon kontrolü sağlamak için partikül filtreleriyle entegre olur.

Son endüstri analizleri, yarı iletken özellik boyutları küçüldükçe AMC ile ilgili verim kayıplarının arttığını ve bazı tesislerin gelişmiş kimyasal filtreleme protokollerini uyguladıktan sonra 5-15% verim iyileştirmeleri bildirdiğini göstermektedir.

Uygulamanız için Doğru Filtrasyon Sistemini Nasıl Seçersiniz?

Uygun seçim mi̇kroelektroni̇k fi̇ltreleme sistemler, süreç gereksinimlerinin, tesis kısıtlamalarının ve performans hedeflerini ekonomik gerçeklerle dengeleyen uzun vadeli operasyonel hususların dikkatli bir şekilde analiz edilmesini gerektirir.

Sürece Özel Gereksinim Analizi

Farklı yarı iletken prosesleri farklı seviyelerde kontaminasyon kontrolü gerektirir. Fotolitografi alanları, özellikle moleküler kontaminasyona karşı son derece hassas olan aşırı ultraviyole (EUV) litografi sistemleri için en yüksek hava kalitesi seviyelerini gerektirir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) prosesleri biraz daha yüksek partikül seviyelerini tolere edebilir ancak gelişmiş kimyasal filtreleme gerektirir.

Enerji Verimliliği Hususları

Modern yarı iletken tesisleri muazzam miktarda enerji tüketmektedir ve HVAC sistemleri tipik olarak toplam tesis güç kullanımının 40-50%'sini oluşturmaktadır. Yüksek verimli filtreleme sistemleri, optimize edilmiş basınç düşüşü özellikleri ve akıllı kontrol sistemleri aracılığıyla hava kalitesi performansını enerji tüketimi ile dengelemelidir.

Değişken frekanslı sürücüler (VFD'ler) ve talep kontrollü havalandırma stratejileri, gerekli hava kalitesi seviyelerini korurken enerji tüketimini 20-30% oranında azaltabilir. Bu sistemleri uygulama deneyimlerimize göre, tesisler kurulum maliyetlerini genellikle 18-24 ay içinde azalan kamu hizmeti giderleri yoluyla geri kazanmaktadır.

Hangi Bakım Uygulamaları Optimum Performans Sağlar?

Temiz oda filtreleme sistemleri için proaktif bakım protokolleri, hem hava kalitesi tutarlılığını hem de işletme maliyetlerini doğrudan etkiler ve filtre hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarırken arıza süresini en aza indiren sistematik yaklaşımlar gerektirir.

Filtre İzleme ve Değiştirme Stratejileri

Sürekli izleme sistemleri, filtre değiştirme zamanlamasını optimize etmek için basınç farklarını, hava akış hızlarını ve partikül konsantrasyonlarını izler. Trend analizi kullanan kestirimci bakım yaklaşımları, filtre ömrünü sabit değiştirme programlarına kıyasla 15-25% kadar uzatabilir ve beklenmedik arıza riskini azaltabilir.

Gelişmiş tesisler, filtrasyon etkinliği hakkında anında geri bildirim sağlayan gerçek zamanlı partikül sayım sistemleri uygulamaktadır. Doğru şekilde kalibre edildiğinde bu sistemler, filtre bütünlüğü sorunlarını üretim süreçlerini etkilemeden önce tespit ederek maliyetli kontaminasyon olaylarını önleyebilir.

Temizlik ve Dekontaminasyon Prosedürleri

Partikül birikimini önlemek ve sistem verimliliğini korumak için filtre muhafazalarının ve kanal sisteminin düzenli olarak temizlenmesi gerekir. HEPA filtreli vakum sistemleri ve düşük kalıntılı temizlik maddeleri kullanan özel temizlik protokolleri, bakım faaliyetlerinin ilave kirliliğe yol açmamasını sağlar.

ULPA filtrelerin kendileri temizlenemez ve yeniden kullanılamazken, kurulum ve değiştirme sırasında uygun kullanım prosedürleri erken arızayı önler. Sektördeki en iyi uygulamalar, filtre kurulumunun yalnızca eğitimli teknisyenler tarafından uygun kontaminasyon kontrol prosedürleri kullanılarak gerçekleştirilmesi gerektiğini belirtmektedir.

Hangi Zorlukları ve Sınırlamaları Dikkate Almalısınız?

En gelişmiş yarı iletken filtreleme sistemleri bile dikkatli yönetim ve gerçekçi performans beklentileri gerektiren doğal sınırlamalar ve operasyonel zorluklarla karşı karşıyadır.

Ekonomik ve Operasyonel Kısıtlar

ULPA filtreleri, boyut ve özelliklerine bağlı olarak $500-2.000'e mal olan tek tek üniteler ile devam eden önemli operasyonel giderleri temsil eder. Büyük yarı iletken üretim tesisleri yüzlerce veya binlerce filtre gerektirebilir ve bu da milyonlarca dolarlık yıllık değiştirme maliyetleri yaratır. Bu ekonomik gerçeklik, hava kalitesi gereksinimleri ile işletme bütçeleri arasında dikkatli bir denge kurulmasını gerektirmektedir.

ULPA filtrelerin yüksek verimlilik değerleri, fan gücü gereksinimlerini artıran yüksek basınç düşüşleriyle birlikte geldiğinden, enerji tüketimi bir başka önemli zorluk teşkil etmektedir. Tesisler, hava kalitesi performansı ile enerji maliyetleri arasındaki dengeyi sürekli olarak optimize etmelidir.

Teknik Performans Sınırlamaları

Mevcut filtreleme teknolojisi dikkate değer performans seviyelerine ulaşırken, yeni ortaya çıkan yarı iletken üretim gereksinimleri teknik olarak mümkün olanın sınırlarını zorlamaya devam ediyor. Algılama limitlerinin altındaki moleküler kontaminasyon gelişmiş prosesleri etkilemeye devam edebilir ve filtre test standartları ilgili tüm kontaminasyon mekanizmalarını yakalayamayabilir.

Ayrıca, filtre üretimindeki değişkenlik, nominal olarak aynı üniteler arasında performans farklılıklarına neden olabilir ve tutarlı performans sağlamak için gelen inceleme ve test prosedürleri gerektirir.

Uzun Vadeli Sistem Performansı Nasıl Optimize Edilir?

Yarı iletken filtreleme sistemlerinin etkinliğini ve verimliliğini en üst düzeye çıkarmak, hem acil performans gereksinimlerini hem de uzun vadeli operasyonel sürdürülebilirliği ele alan kapsamlı optimizasyon stratejileri gerektirir.

Sistem Entegrasyonu ve Kontrol Stratejileri

Modern temiz oda filtrasyonu, merkezi izleme, kontrol ve veri kaydı özellikleri sağlayan bina otomasyon sistemleriyle entegrasyondan önemli ölçüde yararlanır. Bu sistemler, gerçek üretim gereksinimlerine ve doluluk modellerine dayalı olarak hava akış hızlarının, basınç farklarının ve enerji tüketiminin gerçek zamanlı optimizasyonunu sağlar.

Akıllı kontrol algoritmaları, üretim molaları veya bakım dönemleri sırasında sistemin çalışmasını otomatik olarak ayarlayabilir ve ekipman koruması için gereken minimum hava kalitesi seviyelerini korurken enerji tüketimini azaltabilir. Sektör verileri, bu optimizasyon stratejilerinin temiz oda performansından ödün vermeden HVAC enerji tüketimini 25-35% oranında azaltabileceğini göstermektedir.

Performans Doğrulama ve Sürekli İyileştirme

Kapsamlı partikül sayımı, hava akışı ölçümü ve filtre bütünlüğü testleri yoluyla düzenli performans doğrulaması, Sınıf 10 gereklilikleriyle sürekli uyumluluk sağlar. Önde gelen tesisler, performans eğilimlerini ve potansiyel sorunları üretim operasyonlarını etkilemeden önce belirleyen üç aylık doğrulama protokolleri uygulamaktadır.

Kıyaslama performans verileri, filtre seçimini, değiştirme zamanlamasını ve sistem çalışma parametrelerini optimize eden sürekli iyileştirme girişimlerini mümkün kılar. Bu doğrulama ve iyileştirme süreçlerini tutarlı bir şekilde uygulayan tesisler, reaktif bakım yaklaşımlarına kıyasla tipik olarak 10-20% daha iyi maliyet etkinliği elde eder.

Yarı iletken üretiminin zorlu gereksinimlerini karşılayan kapsamlı temiz oda filtrasyon çözümleri için geli̇şmi̇ş fi̇ltreleme si̇stemleri̇ kanıtlanmış performans ve güvenilirlik sağlar.

Sonuç

Yarı iletken temiz oda filtrasyonu, modern endüstriyel hava temizliğinde teknik açıdan en zorlu uygulamalardan birini temsil eder ve partikül fiziği, sistem mühendisliği ve operasyonel optimizasyonun sofistike bir şekilde anlaşılmasını gerektirir. Sınıf 10 temiz odalar, enerji verimliliğini ve operasyonel güvenilirliği korurken mikron altı boyutlardaki partiküllerin 99,999%'sini tutarlı bir şekilde gideren filtreleme sistemleri gerektirir.

Çok aşamalı filtreleme mimarileri ve öngörücü bakım stratejilerinden enerji optimizasyonu ve performans doğrulamasına kadar incelediğimiz temel bilgiler, ultra temiz üretim ortamlarının elde edilmesi ve sürdürülmesi için kapsamlı bir çerçeve sunmaktadır. Başarı; teknik özelliklere, proaktif bakım protokollerine ve işletme maliyetlerini yönetirken tutarlı hava kalitesi sağlayan sürekli performans izlemesine dikkat edilmesini gerektirir.

İleriye baktığımızda, kuantum bilişim ve gelişmiş yapay zeka işlemcileri de dahil olmak üzere gelişmekte olan yarı iletken teknolojileri muhtemelen daha da sıkı kontaminasyon kontrol gereksinimleri talep edecektir. Sağlam, ölçeklenebilir filtrasyon sistemlerini bugünden uygulayan tesisler, rekabetçi üretim yeteneklerini korurken bu gelişen gereksinimlere uyum sağlamak için daha iyi bir konumda olacaktır.

Yarı iletken üretimi kontaminasyon kontrol gerekliliklerinin sınırlarını zorlamaya devam ederken tesisiniz hava kalitesi performansı, enerji verimliliği ve işletme maliyetlerinin birbiriyle yarışan taleplerini nasıl dengeleyecek? Aşağıdakilerle ilgili aldığınız stratejik kararlar temiz oda filtrasyon altyapısı bugün, gelecek yıllardaki üretim kapasitenizi belirleyecektir.

Sıkça Sorulan Sorular

Q: Yarı İletken Temiz Oda Filtrasyonu nedir ve Sınıf 10 Standartları için neden önemlidir?
C: Yarı iletken temiz oda filtrasyonu, yarı iletken üretim ortamlarında havayla taşınan partiküllerin son derece düşük seviyelerini korumak için kullanılan özel hava filtreleme sistemlerini ifade eder. Sınıf 10 Standartları için filtreleme, 0,5 mikrondan büyük neredeyse tüm partikülleri uzaklaştırmalı ve bunları fit küp hava başına 10 partikülden fazla olmayacak şekilde sınırlandırmalıdır. Bu, mikron altı özellikler içeren fotolitografi gibi hassas yarı iletken süreçlerini bozabilecek kontaminasyonu önlemek için gereklidir. Sınıf 10 temiz odaların katı gereksinimlerini karşılamak için tipik olarak küçük partiküllerin 99,999%'sini yakalayan ULPA gibi yüksek verimli filtreler kullanılır.

Q: Sınıf 10 temiz odanın yarı iletken üretimindeki diğer temiz oda sınıflarından farkı nedir?
C: Sınıf 10 temiz oda, en yüksek temizlik seviyelerinden biridir ve 0,5 mikron veya daha büyük boyuttaki havanın metreküpü başına yalnızca 10 partiküle izin verir. Bu, Sınıf 100 veya Sınıf 1000 temiz odalardan önemli ölçüde daha temizdir. Ultra temiz ortam, sıkı filtreleme, tek yönlü laminer hava akışı ve sürekli hava devridaimi ile elde edilir. Bu tür sıkı kontroller, mikroskobik kirleticilerin bile kusurlara neden olabileceği yarı iletken üretiminde gereklidir ve Sınıf 10 standartlarını gelişmiş yarı iletken süreçleri ve nanoteknoloji çalışmaları için ideal hale getirir.

Q: Sınıf 10 Standartları için Yarı İletken Temiz Oda Filtrasyonunda ne tür filtreler kullanılır?
C: Sınıf 10 temiz oda uygulamaları için, HEPA filtreler yerine ULPA (Ultra Düşük Partiküllü Hava) filtreler normdur çünkü daha küçük partikülleri daha etkili bir şekilde yakalarlar. ULPA filtreleri 0,12 mikrona kadar olan partiküllerin 99,999%'sini giderirken, HEPA filtreleri 0,3 mikronda partiküllerin 99,97%'sini yakalar. ULPA filtrelerin kullanımı, mikron altı kirleticilerin uygun şekilde filtrelenmesini sağlayarak yarı iletken temiz oda Sınıf 10 standartlarının gerektirdiği son derece düşük partikül sayılarını korur.

Q: Yarı İletken Temiz Oda Filtrasyonunu Sınıf 10 seviyelerinde tutmak için hangi çevresel kontroller kritik öneme sahiptir?
C: Sınıf 10 temiz oda standartlarının korunması, çeşitli çevresel faktörlerin kontrol edilmesini içerir:

• Sıcaklık: Termal genleşme ve proses değişikliklerini önlemek için tipik olarak ±1°F içinde.
• Nem oranı: Statik deşarjı ve kimyasal tutarsızlıkları önlemek için 5-10% bağıl nem çevresinde sıkı kontrol.
• Hava akımı: Kirleticileri sürekli olarak temizlemek için tek yönlü laminer hava akışı.
• Basınç: Dış kirleticilerin girmesini önlemek için pozitif basınç.
  Bu kontroller, yüksek verimli filtreleme ile birleştiğinde, yarı iletken üretimi için gerekli olan optimum temiz ortamı oluşturur.

Q: Temiz oda tasarımı, yarı iletken tesislerinde Sınıf 10 standartlarına ulaşılmasını nasıl destekler?
C: Yarı iletken üretiminde Sınıf 10 için temiz oda tasarımı birkaç temel unsuru bir araya getirir:

• Tek yönlü (laminer) hava akışı parçacıkları kritik bölgelerden uzaklaştırmak için.
• Havalandırmalı yükseltilmiş zeminler filtrelenmiş havayı verimli bir şekilde yeniden sirküle eder.
• Yüksek verimli ULPA filtrasyon sistemleri küçük parçacıkları yakalamak için.
• Sıkı giriş protokolleri ve temiz oda giysileri insan kaynaklı kontaminasyonu en aza indirmek için.
• Özel aydınlatmaHassas malzemeleri korumak için fotolitografi odalarındaki kehribar rengi aydınlatma gibi.
  Tüm bu faktörler, Sınıf 10 yarı iletken temiz odaların gerektirdiği aşırı temizliği ve çevresel istikrarı korumak için birlikte çalışır.

Q: Gelişmiş yarı iletken üretim süreçleri için Sınıf 10 Standardı neden gereklidir?
C: Sınıf 10 Standardı çok önemlidir çünkü yarı iletken cihazlar nanometre ölçeklerinde üretilmektedir ve burada küçük bir parçacık bile cihaz arızasına yol açan kusurlara neden olabilir. Sınıf 10 temizliğe ulaşmak, ortamın litografi ve yonga plakası işlemeyi engelleyebilecek partiküllerden arınmış olmasını sağlar. Bu kontrol seviyesi, modern elektronikler için kritik önem taşıyan yarı iletken çiplerin verimini, güvenilirliğini ve performansını artırarak Sınıf 10 temiz oda filtrasyonunu gelişmiş yarı iletken üretiminin temel taşı haline getirir.

Dış Kaynaklar

1. Yarı İletken Temiz Odalar 101 - ULPA ve HEPA filtreleri gibi filtreleme teknolojilerine odaklanarak yarı iletken temiz oda ortamlarına ayrıntılı bir genel bakış sunar ve sıcaklık, nem ve partikül kontrolü için sınıf 10 standartlarını açıklar.
2. Sınıf 1, 10, 100, 1000, 10000 ve 100000 - MECART Temiz Odalar - Sınıf 10 (ISO 4) gerekliliklerine, partikül sayımlarına ve bunların yarı iletken üretimindeki pratik uygulamalarına vurgu yaparak temiz oda sınıflandırmalarını açıklar.
3. ISO 4 Sınıf 10 Temiz Oda Tasarımı ve Yapımı - AdvanceTEC LLC - Özellikle yarı iletken ve nanoteknoloji ortamları için ISO 4 / Sınıf 10 temiz odaların tasarımı, yapımı ve kullanımı hakkında bilgi sağlar.
4. Yarı İletken Temiz Odalar - Kapsamlı Bir Genel Bakış - G-CON - Sınıf 10 gerekliliklerine uyum da dahil olmak üzere yarı iletken üretimi için kritik olan temiz oda standartları, filtrasyon sistemleri ve çevresel kontroller hakkında derinlemesine bir açıklama sunar.
5. Temiz Oda Sınıflandırmaları ve ISO Standartları - Sınıf 10 dahil olmak üzere temiz odalar için ISO ve FED standartlarını özetler ve ultra temiz ortamlar için HEPA filtreleme ve hava değişimlerinin rolünü açıklar.
6. Yarı İletkenler için Temiz Oda Standartlarını Anlama - Temiz Oda Teknolojisi (Genel Referans) - Yarı iletken temiz odaların standartları ve filtrasyon ihtiyaçları hakkında, sınıf 10 spesifikasyonları ve kontaminasyon kontrolü için en iyi uygulamaları kapsayan makaleler ve kaynaklar sunar.